計算機磁盤驅(qū)動器、掃描探針和微引擎中廣泛應(yīng)用微機電系統(tǒng)（MEMS）熱致動器。這些熱致動器依賴于多晶硅，這種材料需要高溫，并在制造過程中消耗大量的電力。卡內(nèi)基梅隆大學(xué)工程學(xué)院的研究人員找到一種替代品，用鉭制造微機電熱致動器。這既降低了操作溫度，也降低了驅(qū)動所需的能量消耗。研究結(jié)果發(fā)表在《自然微系統(tǒng)與納米工程》上。
鉭是一種稀有的難熔金屬，常用于合金中以增加強度和耐久性。研究人員推斷，鉭熱致動器與硅襯底相比，熱膨脹系數(shù)較大，在相同的力和位移下，需要的功率比多晶硅少一半。鉭致動器的工作電壓比其他熱致動器低，與互補金屬氧化物半導(dǎo)體電路直接兼容。鉭器件幾乎可在室溫下進行加工。
